1. Cov qauv sib txawv
Nws yog feem ntau xav txog nyob rau hauv qhov sib txawv txoj hauj lwm ntawm cov qauv nyob rau hauv lub electron beam optical txoj kev. Tus qauv ntawm TEM yog nyob rau hauv nruab nrab ntawm lub electron beam, lub electron qhov chaw emits electrons saum toj no cov qauv, tom qab dhau los ntawm lub condenser, thiab ces nkag mus rau hauv tus qauv, ib tug soj ntsuam electromagnetic lens txuas ntxiv mus amplify lub electron beam, thiab lub epiphysis. yog npaj rau ntawm qhov screen fluorescent; tus qauv ntawm SEM yog nyob rau hauv lub electron beam. Thaum kawg, cov kab hluav taws xob hluav taws xob tawm los ntawm qhov hluav taws xob saum toj no cov qauv raug txo los ntawm ob peb theem ntawm electromagnetic lo ntsiab muag thiab ncav cuag cov qauv. Tau kawg, cov qauv ntawm cov teeb liab tom ntej nrhiav pom sab ua haujlwm kuj tseem yuav txawv, tab sis tsis muaj qhov sib txawv ntawm cov ntsiab lus ntawm lub cev lub hauv paus ntsiab lus.
2. Lub hauv paus ntsiab lus ua haujlwm
Transmission electron microscope: Thaum lub teeb hluav taws xob hla dhau ntawm cov qauv, nws yuav tawg nrog cov atoms hauv cov qauv. Cov electrons dhau los ntawm qee qhov taw tes ntawm cov qauv tib lub sijhawm yog nyob rau hauv cov lus qhia sib txawv. Qhov taw tes no ntawm tus qauv yog nyob nruab nrab ntawm 1-2 lub sij hawm lub focal ntev ntawm lub hom phiaj lens. Cov electrons tau rov sib txuas dua tom qab tau nthuav dav los ntawm lub hom phiaj lens, ua kom pom cov duab tiag tiag ntawm qhov taw tes, uas yog tib yam li lub hauv paus ntsiab lus ntawm cov duab ntawm lub lens convex. Muaj qhov sib txawv tsim cov txheej txheem ntawm no, thiab txoj kev xav tsis tau tham txog qhov tob, tab sis nws tuaj yeem xav txog tias yog tias sab hauv ntawm cov qauv zoo ib yam nkaus, tsis muaj cov ciam teb, thiab tsis muaj atomic lattice qauv, ces cov duab loj yuav tsis muaj. txhua qhov sib txawv. Cov khoom zoo li no tsis muaj, yog li muaj qhov laj thawj rau cov cuab yeej zoo li no. Scanning electron microscope: Lub teeb hluav taws xob mus txog tus qauv, zoo siab rau cov khoom siv hluav taws xob thib ob hauv cov qauv, thiab cov khoom siv hluav taws xob thib ob tau txais los ntawm tus ntes, los ntawm kev ua cov teeb liab thiab hloov kho lub teeb emission ntawm pixel ntawm cov zaub, vim hais tias txoj kab uas hla ntawm electron. beam chaw yog nanoscale, thiab lub pixel ntawm cov zaub yog 100 Saum toj ib micron, lub teeb emitted los ntawm no 100-micron-thiab-saum toj pixel sawv cev rau lub teeb emitted los ntawm lub cheeb tsam ntawm cov qauv uas zoo siab los ntawm lub electron beam. . Amplification ntawm qhov khoom taw tes ntawm tus qauv yog tiav. Yog hais tias lub teeb hluav taws xob yog raster scanned nyob rau hauv ib cheeb tsam ntawm cov qauv, qhov ci ntawm cov pixels ntawm cov zaub tuaj yeem hloov kho ib los ntawm ib qho los ntawm kev teeb tsa geometric, thiab cov duab loj ntawm cov qauv no tuaj yeem ua tiav.
3. Cov kev xav tau rau cov qauv
(1) Scanning electron microscope
SEM cov qauv kev npaj tsis muaj qhov tshwj xeeb ntawm qhov tuab ntawm cov qauv, thiab tuaj yeem siv txoj hauv kev xws li txiav, sib tsoo, polishing lossis cleavage los nthuav qhia ib ntu tshwj xeeb, yog li hloov nws mus rau hauv qhov chaw pom. Yog tias qhov chaw zoo li no tau pom ncaj qha, tsuas yog kev puas tsuaj ntawm qhov chaw tuaj yeem pom. Feem ntau, cov tshuaj sib txawv yuav tsum tau siv rau kev nyiam etching los tsim qhov sib txawv uas zoo rau kev soj ntsuam. Txawm li cas los xij, corrosion yuav ua rau cov qauv poob ib feem ntawm qhov tseeb lub xeev ntawm cov qauv qub, thiab tib lub sijhawm qhia qee qhov kev cuam tshuam.
(2) Transmission electron microscope
Txij li qhov zoo ntawm cov duab microscopic tau los ntawm TEM xav tau nyob ntawm qhov tuab ntawm cov qauv, qhov kev soj ntsuam ntawm cov qauv yuav tsum nyias nyias. Piv txwv li, tus qauv TEM ntawm lub cim xeeb tsuas tuaj yeem muaj qhov tuab ntawm 10-100 nm, uas ua rau muaj teeb meem loj rau TEM qauv npaj. nyuaj. Nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm cov qauv kev npaj, cov tawm los ntawm phau ntawv sib tsoo los yog mechanical tswj rau beginners yog tsis siab, thiab cov qauv yuav tsum scrapped thaum nws yog heev av. Lwm qhov teeb meem hauv TEM qauv kev npaj yog qhov chaw ntawm kev soj ntsuam cov ntsiab lus. Kev npaj ua qauv dav dav tsuas tuaj yeem tau txais ib qho kev soj ntsuam nyias ntawm qhov kev txiav txim ntawm 10 hli. Thaum yuav tsum tau muab tso rau thiab tsom xam, lub hom phiaj feem ntau ntog sab nraum qhov kev soj ntsuam. Tam sim no, qhov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws yog siv tsom ion beam etching (FIB).
