Txoj kev loj hlob ntawm electron microscope
Kev sib xyaw ntawm electron microscope
Cov khoom siv hluav taws xob: nws yog ib qho cathode uas tso tawm cov hluav taws xob dawb, thiab ib qho anode anode ua kom cov electrons. Qhov sib txawv voltage ntawm cathode thiab anode yuav tsum siab heev, feem ntau ntawm ob peb txhiab volts thiab 3 lab volts.
Electrons: siv los tsom electrons. Feem ntau, cov lo ntsiab muag sib nqus tau siv, thiab qee zaum siv lo ntsiab muag electrostatic. Kev ua haujlwm ntawm lub lens hluav taws xob yog tib yam li cov khoom siv kho qhov muag hauv lub tshuab ntsuas qhov muag. Lub hom phiaj ntawm lub lens kho qhov muag tau kho, thaum lub teeb pom kev ntawm lub lens hluav taws xob tuaj yeem hloov kho, yog li lub tshuab hluav taws xob tshuab hluav taws xob tsis muaj lub lens txav tau zoo li lub tshuab ntsuas qhov muag.
Lub tshuab nqus tsev vacuum: lub tshuab nqus tsev yog siv los xyuas kom meej lub tshuab nqus tsev nyob rau hauv lub tshuab tsom, kom cov electrons yuav tsis absorbed los yog deflected nyob rau hauv lawv txoj kev.
Sample khib: cov qauv tuaj yeem ruaj khov rau ntawm cov qauv khib. Tsis tas li ntawd, muaj cov khoom siv feem ntau tuaj yeem siv los hloov cov qauv (xws li txav, tig, cua sov, txias, ncab, thiab lwm yam).
Detector: Ib lub teeb liab lossis lwm yam teeb liab siv los sau cov electrons. Hom Qhov projection ntawm tus qauv tuaj yeem tau ncaj qha los ntawm kev xa hluav taws xob hluav taws xob microscope. Nyob rau hauv lub microscope no, electrons dhau los ntawm cov qauv, yog li cov qauv yuav tsum nyias nyias. Qhov tuab ntawm cov qauv yog txiav txim siab los ntawm qhov hnyav atomic ntawm cov atoms uas ua rau cov qauv, qhov voltage ntawm accelerating electrons thiab qhov xav tau kev daws teeb meem. Lub thickness ntawm cov qauv tuaj yeem nyob ntawm ntau nanometers mus rau ntau microns. Qhov siab dua qhov hnyav atomic thiab qis dua qhov voltage, qhov thinner tus qauv yuav tsum yog.
Los ntawm kev hloov lub lens system ntawm lub hom phiaj lens, tib neeg tuaj yeem nthuav dav cov duab ntawm lub hom phiaj lens. Los ntawm qhov no, tib neeg tuaj yeem tau txais cov duab electron diffraction. Siv cov duab no, cov qauv siv lead ua ntawm cov qauv tuaj yeem txheeb xyuas.
Nyob rau hauv lub zog lim kis tau tus mob electron microscope (EFTEM), tib neeg ntsuas qhov ceev hloov ntawm electrons thaum lawv dhau los ntawm cov qauv. Los ntawm qhov no, peb tuaj yeem suav cov tshuaj muaj pes tsawg leeg ntawm cov qauv, xws li kev faib cov tshuaj hauv cov qauv.
Txoj kev loj hlob ntawm electron microscope
Xyoo 1931, German M. Noel thiab E. ruska tau hloov kho lub siab-voltage oscilloscope nrog lub txias cathode tawm electron qhov chaw thiab peb lub tshuab hluav taws xob, thiab tau txais ib daim duab nrog ntau tshaj kaum zaus. Qhov kis tau tus mob electron microscope tau tsim, uas tau lees paub qhov muaj peev xwm ntawm kev ua kom pom tseeb los ntawm electron microscope. Xyoo 1932, tom qab ruska txoj kev txhim kho, qhov kev daws teeb meem ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob tau nce mus txog 50 nanometers, uas yog kwv yees li kaum npaug ntawm lub tshuab ntsuas qhov muag thaum lub sijhawm ntawd, tawg los ntawm qhov kev daws teeb meem ntawm lub tshuab ntsuas qhov muag, yog li tib neeg pib ua. xyuam xim rau electron microscope. Nyob rau xyoo 1940, Hill ntawm Tebchaws Meskas tau siv cov cuab yeej astigmatism los them nyiaj rau kev sib hloov asymmetry ntawm lub lens electron, uas ua rau muaj kev cuam tshuam tshiab hauv kev daws teeb meem ntawm electron microscope thiab maj mam mus txog qib niaj hnub. Nyob rau hauv Tuam Tshoj, ib tug kis tau tus mob electron microscope tau ntse tsim nyob rau hauv 1958 nrog ib tug daws teeb meem ntawm 3 nm, thiab ib tug loj electron microscope nrog ib tug daws teeb meem ntawm 0.3 nm tau tsim nyob rau hauv 1979.
