Daim ntawv thov ntawm Scanning Electron Microscopy
Scanning electron microscope yog ib qho cuab yeej siv ntau yam nrog ntau yam khoom zoo, thiab nws yog cov cuab yeej siv dav tshaj plaws. Nws tuaj yeem ua qhov kev ntsuam xyuas hauv qab no:
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(1) Kev soj ntsuam thiab kev soj ntsuam ntawm cov duab peb sab;
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(2) Thaum soj ntsuam cov morphology, kev txheeb xyuas qhov muaj pes tsawg leeg ntawm thaj chaw micro yog ua tiav.
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① Saib nanomaterials. Lub npe hu ua nanomaterials yog hais txog cov khoom siv tau los ntawm kev nias cov khoom los yog crystallites uas ua rau cov ntaub ntawv nyob rau hauv thaj tsam ntawm 0.1 txog 100 nm thiab ua kom lub ntsej muag huv si. Nanomaterials muaj ntau lub cev thiab tshuaj lom neeg tshwj xeeb uas txawv ntawm crystalline thiab amorphous xeev. Nanomaterials muaj txoj kev loj hlob dav dav thiab yuav dhau los ua qhov tseem ceeb ntawm kev tshawb fawb cov ntaub ntawv yav tom ntej. Ib qho tseem ceeb ntawm scanning electron microscopy yog nws cov kev daws teeb meem siab, uas tau siv dav los soj ntsuam nanomaterials.
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② Tshawb xyuas cov khoom tawg. Lwm qhov tseem ceeb ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob scanning yog qhov tob ntawm daim teb yog qhov loj thiab cov duab yog tag nrho ntawm peb-dimensionality. Qhov tob ntawm kev tsom xam ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob siv hluav taws xob yog 10 npaug loj dua li ntawm lub tshuab hluav taws xob xa hluav taws xob thiab ntau pua lub sij hawm loj dua li ntawm lub tshuab ntsuas qhov muag. Vim muaj qhov tob ntawm qhov loj ntawm daim duab, cov duab hluav taws xob scanned tau txais cov duab peb sab thiab tuaj yeem muab cov ntaub ntawv ntau dua li lwm cov microscopes. Qhov no feature tseem ceeb heev rau cov neeg siv. Lub pob txha morphology tso tawm los ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob siv hluav taws xob nthuav tawm cov ntsiab lus ntawm cov khoom tawg los ntawm qhov kev xav ntawm qhov tob thiab qhov tob ntawm qhov chaw. Nws plays lub luag haujlwm irreplaceable hauv kev qhia, kev tshawb fawb thiab kev tsim khoom. Cov yam ntxwv xws li kev txiav txim siab ntawm kev xav yog ib qho cuab yeej muaj zog.
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③ ncaj qha saib tus thawj nto ntawm tus qauv loj. Nws tuaj yeem soj ntsuam cov qauv ncaj qha nrog txoj kab uas hla ntawm 100 hli, qhov siab ntawm 50 hli, lossis qhov loj dua, yam tsis muaj kev txwv ntawm cov qauv ntawm cov qauv, thiab cov npoo ntxhib kuj tuaj yeem pom, uas txuag cov teeb meem ntawm kev npaj cov qauv thiab tuaj yeem ua tau tiag tiag. soj ntsuam cov qauv Qhov sib txawv ntawm cov khoom sib txawv ntawm cov qauv nws tus kheej (rov qab xav txog electron duab).
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④ Saib cov qauv tuab. Thaum soj ntsuam cov qauv tuab, nws tuaj yeem tau txais kev daws teeb meem siab thiab cov duab zoo tshaj plaws. Qhov kev daws teeb meem ntawm scanning electron microscopy yog nruab nrab ntawm lub teeb microscopy thiab kis electron microscopy. Txawm li cas los xij, thaum muab piv rau kev soj ntsuam ntawm cov qauv tuab, vim tias txoj kev lamination tseem siv nyob rau hauv kev sib kis ntawm electron microscope, thiab kev daws teeb meem ntawm lamination tsuas yog ncav cuag 10 nm, thiab kev soj ntsuam tsis yog tus qauv nws tus kheej, yog li ntawd, siv Scanning electron microscopy. yog qhov zoo dua los soj ntsuam cov qauv tuab, thiab tuaj yeem tau txais cov ntaub ntawv ntawm tus qauv tiag tiag.
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⑤ Saib xyuas cov ntsiab lus ntawm txhua qhov chaw ntawm tus qauv. Qhov ntau ntawm kev txav ntawm cov qauv hauv cov qauv chamber yog qhov loj heev. Qhov kev ncua deb ntawm lwm lub tshuab tsom iav feem ntau tsuas yog 2 mus rau 3 cm, yog li qhov tseeb, tsuas yog cov qauv tso cai txav mus rau hauv qhov chaw ob sab. Tab sis nws txawv nyob rau hauv lub scanning electron microscope, vim lub loj ua hauj lwm deb (yuav ua tau ntau tshaj 20 hli), qhov loj qhov tob ntawm tsom (10 npaug loj dua qhov kis tau tus mob electron microscope), thiab qhov chaw loj ntawm cov qauv chamber, Yog li ntawd, cov qauv tuaj yeem muab tso rau hauv qhov chaw peb-seem Muaj 6 qib kev ywj pheej hauv kev txav mus los (uas yog, peb-dimensional qhov chaw txhais lus, peb-dimensional qhov chaw tig), thiab cov khoom txav tau loj, uas coj tau yooj yim heev. mus rau kev soj ntsuam cov ntsiab lus ntawm txhua cheeb tsam ntawm cov qauv tsis zoo.
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⑥Saib cov qauv hauv qab qhov loj ntawm qhov pom thiab qhov loj me. Lub teb ntawm kev pom ntawm cov qauv pom los ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob scanning yog qhov loj. Hauv lub tshuab ntsuas hluav taws xob scanning, qhov chaw saib F uas tuaj yeem soj ntsuam tus qauv tib lub sijhawm yog txiav txim siab los ntawm cov qauv hauv qab no: F=L / M
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Nyob rau hauv tus qauv, F — teb ntawm saib ntau yam;
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M - qhov loj thaum saib;
L — Qhov loj me ntawm daim duab raj.
Yog tias lub tshuab ntsuas hluav taws xob siv hluav taws xob siv lub raj 30 cm (12 ntiv tes), thaum qhov kev nthuav dav yog 15 zaug, nws qhov kev pom tuaj yeem ncav cuag 20 hli. Qhov loj ntawm kev pom thiab tsis tshua muaj qhov loj me los saib xyuas qhov chaw ntawm cov qauv yog tsim nyog rau qee qhov chaw, xws li kev tshawb nrhiav kev ua txhaum cai thiab archaeology.
⑦ Ua raws li kev soj ntsuam tas li los ntawm kev nthuav dav siab mus rau qhov qis qis. Qhov sib txawv ntawm qhov magnification yog qhov dav heev, thiab tsis tas yuav tsom mus rau ntau zaus. Qhov kev nthuav dav ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob ntsuas hluav taws xob yog qhov dav heev (los ntawm 50, 000 mus rau 200,000 zaus hloov kho tsis tu ncua), thiab tom qab tsom ib zaug, nws tuaj yeem pom tsis tu ncua los ntawm kev nthuav dav mus rau qis magnification, thiab los ntawm qis magnification mus rau siab magnification yam tsis muaj refocusing. Kev tshuaj xyuas tshwj xeeb yog yooj yim.
⑧ Kev soj ntsuam ntawm cov qauv tshuaj lom neeg. Lub degree ntawm kev puas tsuaj thiab paug ntawm cov qauv vim electron irradiation yog heev me me. Piv nrog rau lwm yam electron microscopes, vim hais tias tam sim no ntawm electron sojntsuam siv rau kev soj ntsuam yog me me (feem ntau txog 10 -10 ~ 10 -12A), lub beam qhov luaj li cas ntawm lub electron sojntsuam yog me me (feem ntau yog 5 nm rau kaum ntawm nanometers), thiab cov hluav taws xob Lub zog ntawm qhov kev sojntsuam kuj tseem me me (kev nrawm nrawm tuaj yeem ua me me li 2 kV), thiab cov qauv tsis yog irradiated ntawm qhov chaw ruaj khov, tab sis yog irradiated hauv raster scanning yam, yog li qhov kev puas tsuaj thiab kev kis kab mob ntawm cov qauv tshwm sim vim yog electron irradiation me me, uas yog qhov tseem ceeb tshwj xeeb rau kev soj ntsuam qee cov qauv lom.
⑨ Ua kev soj ntsuam dynamic. Nyob rau hauv lub scanning electron microscope, cov ntaub ntawv imaging yog cov ntaub ntawv hauv hluav taws xob. Raws li cov txheej txheem ntawm kev lag luam hluav taws xob niaj hnub no, txawm tias cov ntaub ntawv hluav taws xob hloov pauv ntawm kev kub ceev tuaj yeem tau txais, ua tiav thiab khaws cia hauv lub sijhawm tsis muaj teeb meem, yog li qee qhov kev soj ntsuam cov txheej txheem tuaj yeem ua tiav. Yog tias cov khoom siv xws li cua sov, cua txias, khoov, ncab thiab ion etching raug ntsia rau hauv cov qauv chav, cov txheej txheem hloov pauv xws li theem hloov thiab tawg tuaj yeem pom los ntawm lub TV ntaus ntawv. 10 Tau txais ntau yam ntaub ntawv los ntawm qhov chaw saum toj kawg nkaus ntawm tus qauv. Hauv scanning electron microscope, tsis tsuas yog tuaj yeem siv qhov xwm txheej electrons los cuam tshuam nrog cov qauv los tsim ntau cov ntaub ntawv rau kev kos duab, tab sis kuj tuaj yeem tau txais ntau yam kev qhia tshwj xeeb rau cov duab los ntawm cov txheej txheem ua cov teeb liab, thiab tseem tuaj yeem tau txais cov ntaub ntawv los ntawm qhov chaw. morphology ntawm tus qauv. Tau txais ntau yam ntaub ntawv. Vim tias cov duab scanning electron tsis tau sau rau tib lub sijhawm, nws yog decomposed mus rau hauv ze li ib lab daim thiab sau tseg raws li qhov kev soj ntsuam ntawm electron microscope tsis tau tsuas yog soj ntsuam lub nto morphology, tab sis kuj soj ntsuam cov muaj pes tsawg leeg thiab cov ntsiab lus, thiab los ntawm lub scanning electron microscope. electron channel qauv. Rau kev tsom xam crystallographic, qhov chaw xaiv qhov loj tuaj yeem yog los ntawm 10μm txog 2μm.
Vim hais tias cov yam ntxwv saum toj no thiab kev ua haujlwm ntawm lub tshuab ntsuas hluav taws xob scanning, nws tau raug them ntau thiab ntau dua los ntawm cov kws tshawb fawb tshawb fawb thiab tau siv ntau thiab ntau dua. Scanning electron microscopes tau siv dav hauv cov ntaub ntawv tshawb fawb (cov ntaub ntawv hlau, cov ntaub ntawv tsis yog hlau, nanomaterials), metallurgy, biology, tshuaj, semiconductor cov ntaub ntawv thiab cov khoom siv, kev tshawb nrhiav geological, tshuaj tua kab, kev puas tsuaj (hluav taws kub, tsis ua hauj lwm tsom xam) kev txheeb xyuas, kev ua txhaum cai Reconnaissance. , kev txheeb xyuas lub pov haum, kev txheeb xyuas cov khoom zoo thiab cov txheej txheem tsim khoom hauv kev tsim khoom, thiab lwm yam.
